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涂布机

VTC100PA-PTFEUS PTFE 加热超声喷雾旋涂仪

型号VTC100PA-PTFEUS

超声供液结合程序旋涂与 PTFE 加热腔体,用于溶液法薄膜制备。

转速 500–10000 rpm
加热限值 200 °C,保持时间 <10 分钟
吸盘适用晶圆 1–4 in
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
设备特点

主要产品特点

  • 转速: 500–10000 rpm

  • 加热限值: 200 °C,保持时间 <10 分钟

  • 吸盘适用晶圆: 1–4 in

技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

主要参数

转速 500–10000 rpm
加热限值 200 °C,保持时间 <10 分钟
吸盘适用晶圆 1–4 in
程序存储 12 组程序,每组 6 段
喷雾范围 约 20 mm 和 40 mm 直径
腔体直径 150 mm

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

选择涂覆配置前,请与 LabSova 确认基片尺寸、溶液性质、吸盘兼容性、排风及电源要求。加热与供液选项取决于具体型号。