実験室用塗工機
VTC100PA-PTFEUS Heated PTFE Spin Coater with Ultrasonic Spray Delivery
モデルVTC100PA-PTFEUS
Ultrasonic solution delivery combines with programmable spin coating and a heated PTFE chamber for solution-based film preparation.
Spin speed
500–10000 rpm
Heating limit
200 °C for <10 min
Chuck-supported wafers
1–4 in
- 最終構成は見積前に確認
- 用途に応じてカスタムと付属品を確認
- 輸出梱包と書類は必要に応じて対応
設備の特徴
主な製品特徴
-
Spin speed: 500–10000 rpm
-
Heating limit: 200 °C for <10 min
-
Chuck-supported wafers: 1–4 in
技術データ
技術仕様
仕様はシステム別に整理され、設備タイプごとに重要なパラメータを表示します。
Key specifications
| Spin speed | 500–10000 rpm |
|---|---|
| Heating limit | 200 °C for <10 min |
| Chuck-supported wafers | 1–4 in |
| Program storage | 12 programs × 6 segments |
| Spray patterns | Approximately 20 mm and 40 mm diameter |
| Chamber diameter | 150 mm |
仕様は構成やカスタム内容により変更される場合があります。最終データは確認済み見積に従います。
Confirm substrate dimensions, solution properties, chuck compatibility, exhaust and electrical requirements with LabSova before selecting a coating configuration. Heating and dispensing options depend on the chosen model.
発注前に調達条件を確認できます。
要件を確認
海外購入者向けに、構成、付属品、梱包方法、輸出書類、検査写真または動画、出荷条件を見積確認に含められます。
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