VTC100PA-PTFEUS Heated PTFE Spin Coater with Ultrasonic Spray Delivery
Ultrasonic solution delivery combines with programmable spin coating and a heated PTFE chamber for solution-based film preparation.
- Configuration finale confirmée avant devis
- Personnalisation et accessoires étudiés selon l’application
- Emballage export et documentation disponibles sur demande
Principales caractéristiques
-
Spin speed: 500–10000 rpm
-
Heating limit: 200 °C for <10 min
-
Chuck-supported wafers: 1–4 in
Spécifications techniques
Les spécifications sont organisées par système afin de présenter les paramètres pertinents pour chaque équipement.
Key specifications
| Spin speed | 500–10000 rpm |
|---|---|
| Heating limit | 200 °C for <10 min |
| Chuck-supported wafers | 1–4 in |
| Program storage | 12 programs × 6 segments |
| Spray patterns | Approximately 20 mm and 40 mm diameter |
| Chamber diameter | 150 mm |
Les spécifications peuvent varier selon la configuration. Les données finales dépendent du devis confirmé.
Confirm substrate dimensions, solution properties, chuck compatibility, exhaust and electrical requirements with LabSova before selecting a coating configuration. Heating and dispensing options depend on the chosen model.
Pour les acheteurs internationaux, la confirmation du devis peut inclure configuration, accessoires, emballage, documents export, photos ou vidéos d’inspection et conditions d’expédition.
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