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Máquinas de revestimento de laboratório

VTC100PA-PTFEUS Heated PTFE Spin Coater with Ultrasonic Spray Delivery

ModeloVTC100PA-PTFEUS

Ultrasonic solution delivery combines with programmable spin coating and a heated PTFE chamber for solution-based film preparation.

Spin speed 500–10000 rpm
Heating limit 200 °C for <10 min
Chuck-supported wafers 1–4 in
  • Configuração final confirmada antes da cotação
  • Personalização e acessórios revisados pela aplicação
  • Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Recursos do equipamento

Principais recursos do produto

  • Spin speed: 500–10000 rpm

  • Heating limit: 200 °C for <10 min

  • Chuck-supported wafers: 1–4 in

Dados técnicos

Especificações técnicas

As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.

Key specifications

Spin speed 500–10000 rpm
Heating limit 200 °C for <10 min
Chuck-supported wafers 1–4 in
Program storage 12 programs × 6 segments
Spray patterns Approximately 20 mm and 40 mm diameter
Chamber diameter 150 mm

As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.

Confirm substrate dimensions, solution properties, chuck compatibility, exhaust and electrical requirements with LabSova before selecting a coating configuration. Heating and dispensing options depend on the chosen model.