B2B-Beschaffung von Laborgeräten Lieferantenkoordination · Technische Klärung · Exportunterstützung
Laborbeschichtungsanlagen

VTC100PA-PTFEUS Heated PTFE Spin Coater with Ultrasonic Spray Delivery

ModellVTC100PA-PTFEUS

Ultrasonic solution delivery combines with programmable spin coating and a heated PTFE chamber for solution-based film preparation.

Spin speed 500–10000 rpm
Heating limit 200 °C for <10 min
Chuck-supported wafers 1–4 in
  • Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
  • Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
  • Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Gerätemerkmale

Wichtige Produktmerkmale

  • Spin speed: 500–10000 rpm

  • Heating limit: 200 °C for <10 min

  • Chuck-supported wafers: 1–4 in

Technische Daten

Technische Spezifikationen

Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.

Key specifications

Spin speed 500–10000 rpm
Heating limit 200 °C for <10 min
Chuck-supported wafers 1–4 in
Program storage 12 programs × 6 segments
Spray patterns Approximately 20 mm and 40 mm diameter
Chamber diameter 150 mm

Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.

Confirm substrate dimensions, solution properties, chuck compatibility, exhaust and electrical requirements with LabSova before selecting a coating configuration. Heating and dispensing options depend on the chosen model.