VTC200PV Vacuum and Inert-Atmosphere Programmable Spin Coater
Separate pumping for the chamber and chuck enables controlled-atmosphere coating; mechanical holding is required during vacuum injection.
- Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
- Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
- Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Wichtige Produktmerkmale
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Spin speed: 500–10000 rpm
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Program stages: 6
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Maximum segment duration: 999 s
Technische Spezifikationen
Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.
Key specifications
| Spin speed | 500–10000 rpm |
|---|---|
| Program stages | 6 |
| Maximum segment duration | 999 s |
| Maximum substrate diameter | 6 in |
| Specified chamber pressure limit | 110 Torr |
| Vacuum-mode holding | Mechanical fixture; vacuum chuck for inert-gas mode |
Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.
Confirm substrate dimensions, solution properties, chuck compatibility, exhaust and electrical requirements with LabSova before selecting a coating configuration. Heating and dispensing options depend on the chosen model.
Für internationale Käufer kann die Angebotsbestätigung Konfiguration, Zubehör, Verpackung, Exportdokumente, Inspektionsfotos oder -videos und Versandbedingungen umfassen.
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