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Laborbeschichtungsanlagen

VTC-100PAX 12500 rpm High-Speed Spin Coater with Lid Interlock

ModellVTC-100PAX

A high-speed coating platform with a safety-interlocked lid and multi-segment recipes, using aluminum vacuum chucks for 20–100 mm substrates.

Spin speed 500–12500 rpm
Chuck-supported substrate range 20–100 mm
Program storage 12 programs × 6 segments
  • Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
  • Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
  • Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Gerätemerkmale

Wichtige Produktmerkmale

  • Spin speed: 500–12500 rpm

  • Chuck-supported substrate range: 20–100 mm

  • Program storage: 12 programs × 6 segments

Technische Daten

Technische Spezifikationen

Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.

Key specifications

Spin speed 500–12500 rpm
Chuck-supported substrate range 20–100 mm
Program storage 12 programs × 6 segments
Segment duration 0–999 s
Acceleration 100–2000 rpm/s
Chamber diameter 150 mm

Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.

Confirm substrate dimensions, solution properties, chuck compatibility, exhaust and electrical requirements with LabSova before selecting a coating configuration. Heating and dispensing options depend on the chosen model.