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涂布机

VTC200PV 真空及惰性气氛可编程旋涂仪

型号VTC200PV

腔体和吸盘分别抽气,可进行受控气氛旋涂;真空注液时须使用机械固定方式。

转速 500–10000 rpm
程序段数 6
每段最长时长 999 s
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
设备特点

主要产品特点

  • 转速: 500–10000 rpm

  • 程序段数: 6

  • 每段最长时长: 999 s

技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

主要参数

转速 500–10000 rpm
程序段数 6
每段最长时长 999 s
最大基片直径 6 in
标称腔体压力限值 110 Torr
真空模式固定方式 机械夹具;真空吸盘用于惰性气氛模式

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

选择涂覆配置前,请与 LabSova 确认基片尺寸、溶液性质、吸盘兼容性、排风及电源要求。加热与供液选项取决于具体型号。