VTC200PV Vacuum and Inert-Atmosphere Programmable Spin Coater
Separate pumping for the chamber and chuck enables controlled-atmosphere coating; mechanical holding is required during vacuum injection.
- Финальная конфигурация подтверждается до предложения
- Настройка и аксессуары проверяются по применению
- Экспортная упаковка и документация доступны по запросу
Ключевые характеристики продукта
-
Spin speed: 500–10000 rpm
-
Program stages: 6
-
Maximum segment duration: 999 s
Технические спецификации
Спецификации организованы по системам, чтобы разные типы оборудования показывали важные для применения параметры.
Key specifications
| Spin speed | 500–10000 rpm |
|---|---|
| Program stages | 6 |
| Maximum segment duration | 999 s |
| Maximum substrate diameter | 6 in |
| Specified chamber pressure limit | 110 Torr |
| Vacuum-mode holding | Mechanical fixture; vacuum chuck for inert-gas mode |
Спецификации могут изменяться в зависимости от конфигурации и настройки. Окончательные данные зависят от подтвержденного предложения.
Confirm substrate dimensions, solution properties, chuck compatibility, exhaust and electrical requirements with LabSova before selecting a coating configuration. Heating and dispensing options depend on the chosen model.
Для международных покупателей подтверждение может включать конфигурацию, аксессуары, упаковку, экспортные документы, фото или видео инспекции и условия доставки.







