B2B-Beschaffung von Laborgeräten Lieferantenkoordination · Technische Klärung · Exportunterstützung
Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)

OTF-1200X-4-III-9HV Nine-Gas High-Vacuum CVD Furnace

ModellOTF-1200X-4-III-9HV

A three-zone quartz-tube workstation for multi-gas deposition studies, integrating nine mass-flow channels with programmable heating and high-vacuum pumping.

Operating temperature 1100 °C continuous; 1200 °C maximum
Heating zones 220 + 440 + 220 mm
Quartz tube 100 mm OD x 92 mm ID x 1400 mm L
  • Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
  • Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
  • Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Technische Daten

Technische Spezifikationen

Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.

Key specifications

Operating temperature 1100 °C continuous; 1200 °C maximum
Heating zones 220 + 440 + 220 mm
Quartz tube 100 mm OD x 92 mm ID x 1400 mm L
Gas control 9 MFC channels; ±1.5% FS; ranges configured by channel
Furnace power 208–240 V AC, single phase; 7 kW max

Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.

Produktbeschreibung

Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.