ALD-1200X-R-4 Rotary Tube ALD Furnace
A rotating quartz-tube ALD furnace for powder coating research, pairing pulsed precursor delivery with four-channel mass-flow control and programmable heating.
- Configuration finale confirmée avant devis
- Personnalisation et accessoires étudiés selon l’application
- Emballage export et documentation disponibles sur demande
Spécifications techniques
Les spécifications sont organisées par système afin de présenter les paramètres pertinents pour chaque équipement.
Key specifications
| Continuous temperature | 1100 °C |
|---|---|
| Tube size and rotation | 4 in quartz tube; 0–10 rpm |
| ALD dosing valves | 2 valves; 10 ms minimum pulse |
| Gas flow control | 4 MFC channels; 6 in touchscreen |
| Furnace power | 208–240 V AC, single phase; 4 kW max |
Les spécifications peuvent varier selon la configuration. Les données finales dépendent du devis confirmé.
Description du produit
Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.
Pour les acheteurs internationaux, la confirmation du devis peut inclure configuration, accessoires, emballage, documents export, photos ou vidéos d’inspection et conditions d’expédition.
