ALD-1200X-R-4 Rotary Tube ALD Furnace
A rotating quartz-tube ALD furnace for powder coating research, pairing pulsed precursor delivery with four-channel mass-flow control and programmable heating.
- Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
- Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
- Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Technische Spezifikationen
Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.
Key specifications
| Continuous temperature | 1100 °C |
|---|---|
| Tube size and rotation | 4 in quartz tube; 0–10 rpm |
| ALD dosing valves | 2 valves; 10 ms minimum pulse |
| Gas flow control | 4 MFC channels; 6 in touchscreen |
| Furnace power | 208–240 V AC, single phase; 4 kW max |
Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.
Produktbeschreibung
Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.
Für internationale Käufer kann die Angebotsbestätigung Konfiguration, Zubehör, Verpackung, Exportdokumente, Inspektionsfotos oder -videos und Versandbedingungen umfassen.
