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实验室研磨与抛光设备

UNIPOL-1502 15 英寸精密晶片抛光机,支持三片 4 英寸样品

型号UNIPOL-1502

UNIPOL-1502 在 15 英寸工作盘周围配置三个支臂,可处理三片 4 英寸样品,也可按夹具配置处理单片较大晶片,盘速最高 125 rpm。

工作盘直径 15 英寸
样品配置 3 片 4 英寸晶片,或 1 片 6 / 8 英寸晶片
工作盘转速 0–125 rpm
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
典型应用
  • 多晶片实验室抛光
  • 单工位大尺寸晶片研磨
设备特点

主要产品特点

  • 三个支臂适配不同样品处理方案

  • 铸铁盘及铝盘配置

  • 支持定时停机

技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

主要参数

工作盘直径 15 英寸
样品配置 3 片 4 英寸晶片,或 1 片 6 / 8 英寸晶片
工作盘转速 0–125 rpm
定时范围 0–99 小时
功率 400 W
供电 208–240 V AC,50/60 Hz
机器尺寸 720 × 580 × 380 mm

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

单片 8 英寸晶片与三片 4 英寸晶片采用不同的工位安排。订购前需确认表面要求与夹具选型。

图片可能包含选配附件。供电、夹具、耗材及交付范围以最终报价确认清单为准。