涂布机
VTC200-GBII 双腔净化手套箱集成旋涂系统
型号VTC200-GBII
嵌入式旋涂仪在净化手套箱内完成基片操作,控制箱和真空泵置于箱外。
手套箱尺寸
2400 × 800 × 930 mm
净化气氛
O2 <1 ppm; H2O <1 ppm
转速
500–8000 rpm
- 报价前确认最终配置
- 根据应用确认定制和附件
- 可按需提供出口包装与文件
设备特点
主要产品特点
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手套箱尺寸: 2400 × 800 × 930 mm
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净化气氛: O2 <1 ppm; H2O <1 ppm
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转速: 500–8000 rpm
技术数据
技术规格
规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。
主要参数
| 手套箱尺寸 | 2400 × 800 × 930 mm |
|---|---|
| 净化气氛 | O2 <1 ppm; H2O <1 ppm |
| 转速 | 500–8000 rpm |
| 程序段数 | 6 |
| 最大基片直径 | 6 in |
| 嵌入舱尺寸 | Ø314 × 455 mm |
规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。
图片为系统布局示意图,并非交付设备实拍。
选择涂覆配置前,请与 LabSova 确认基片尺寸、溶液性质、吸盘兼容性、排风及电源要求。加热与供液选项取决于具体型号。
采购细节可在下单前确认。
确认需求
面向国际买家,报价确认可包含配置、附件、包装方式、出口文件、验货照片或视频以及运输条款。
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