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涂布机

VTC200-GBII 双腔净化手套箱集成旋涂系统

型号VTC200-GBII

嵌入式旋涂仪在净化手套箱内完成基片操作,控制箱和真空泵置于箱外。

手套箱尺寸 2400 × 800 × 930 mm
净化气氛 O2 <1 ppm; H2O <1 ppm
转速 500–8000 rpm
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
设备特点

主要产品特点

  • 手套箱尺寸: 2400 × 800 × 930 mm

  • 净化气氛: O2 <1 ppm; H2O <1 ppm

  • 转速: 500–8000 rpm

技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

主要参数

手套箱尺寸 2400 × 800 × 930 mm
净化气氛 O2 <1 ppm; H2O <1 ppm
转速 500–8000 rpm
程序段数 6
最大基片直径 6 in
嵌入舱尺寸 Ø314 × 455 mm

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

图片为系统布局示意图,并非交付设备实拍。

选择涂覆配置前,请与 LabSova 确认基片尺寸、溶液性质、吸盘兼容性、排风及电源要求。加热与供液选项取决于具体型号。