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Laborbeschichtungsanlagen

VTC200-GBII Purified Dual-Chamber Glovebox with Integrated Spin Coater

ModellVTC200-GBII

A recessed spin coater keeps substrate handling inside a purified glovebox while the controller and vacuum pump remain outside.

Glovebox dimensions 2400 × 800 × 930 mm
Purified atmosphere O2 <1 ppm; H2O <1 ppm
Spin speed 500–8000 rpm
  • Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
  • Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
  • Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Gerätemerkmale

Wichtige Produktmerkmale

  • Glovebox dimensions: 2400 × 800 × 930 mm

  • Purified atmosphere: O2 <1 ppm; H2O <1 ppm

  • Spin speed: 500–8000 rpm

Technische Daten

Technische Spezifikationen

Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.

Key specifications

Glovebox dimensions 2400 × 800 × 930 mm
Purified atmosphere O2 <1 ppm; H2O <1 ppm
Spin speed 500–8000 rpm
Program stages 6
Maximum substrate diameter 6 in
Recessed compartment Ø314 × 455 mm

Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.

The image is a system layout illustration, not a photograph of the delivered equipment.

Confirm substrate dimensions, solution properties, chuck compatibility, exhaust and electrical requirements with LabSova before selecting a coating configuration. Heating and dispensing options depend on the chosen model.