VTC200-GBII Purified Dual-Chamber Glovebox with Integrated Spin Coater
A recessed spin coater keeps substrate handling inside a purified glovebox while the controller and vacuum pump remain outside.
- Configuration finale confirmée avant devis
- Personnalisation et accessoires étudiés selon l’application
- Emballage export et documentation disponibles sur demande
Principales caractéristiques
-
Glovebox dimensions: 2400 × 800 × 930 mm
-
Purified atmosphere: O2 <1 ppm; H2O <1 ppm
-
Spin speed: 500–8000 rpm
Spécifications techniques
Les spécifications sont organisées par système afin de présenter les paramètres pertinents pour chaque équipement.
Key specifications
| Glovebox dimensions | 2400 × 800 × 930 mm |
|---|---|
| Purified atmosphere | O2 <1 ppm; H2O <1 ppm |
| Spin speed | 500–8000 rpm |
| Program stages | 6 |
| Maximum substrate diameter | 6 in |
| Recessed compartment | Ø314 × 455 mm |
Les spécifications peuvent varier selon la configuration. Les données finales dépendent du devis confirmé.
The image is a system layout illustration, not a photograph of the delivered equipment.
Confirm substrate dimensions, solution properties, chuck compatibility, exhaust and electrical requirements with LabSova before selecting a coating configuration. Heating and dispensing options depend on the chosen model.
Pour les acheteurs internationaux, la confirmation du devis peut inclure configuration, accessoires, emballage, documents export, photos ou vidéos d’inspection et conditions d’expédition.
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