PVD・ハイブリッド成膜炉
GSL-1100-Micro In-Situ CVD/PVD Observation Furnace
モデルGSL-1100-Micro
A compact dual-heater furnace with an optical observation window for examining deposition and thermal changes in a small quartz processing tube.
Maximum temperature
1100 °C
Quartz tube
30 mm OD x 24 mm ID x 370 mm L
Observation window
12 mm, UV-grade
- 最終構成は見積前に確認
- 用途に応じてカスタムと付属品を確認
- 輸出梱包と書類は必要に応じて対応
技術データ
技術仕様
仕様はシステム別に整理され、設備タイプごとに重要なパラメータを表示します。
Key specifications
| Maximum temperature | 1100 °C |
|---|---|
| Quartz tube | 30 mm OD x 24 mm ID x 370 mm L |
| Observation window | 12 mm, UV-grade |
| Heating plates | 2 x 17 x 25 mm |
| Temperature control | 2 controllers; 30 segments each; ±1 °C |
仕様は構成やカスタム内容により変更される場合があります。最終データは確認済み見積に従います。
製品説明
Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.
発注前に調達条件を確認できます。
要件を確認
海外購入者向けに、構成、付属品、梱包方法、輸出書類、検査写真または動画、出荷条件を見積確認に含められます。
関連設備
