OTF-1200X-III-80-F3LV Three-Zone CVD Furnace with Gas Mixing
A long heated-tube system for CVD and diffusion research, using three independent zones and an 80 mm quartz tube with integrated three-gas mixing.
- Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
- Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
- Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Technische Spezifikationen
Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.
Key specifications
| Operating temperature | 1100 °C continuous; 1200 °C maximum |
|---|---|
| Heating zones | 220 + 440 + 220 mm; 880 mm total |
| Quartz tube | 80 mm OD x 72 mm ID x 1400 mm L |
| Gas flow ranges | 3 channels: 10–100, 16–160, 25–250 cc/min |
| Vacuum pump | 120 L/min rotary vane pump; stated system vacuum 10^-2 Torr |
Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.
Produktbeschreibung
Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.
Für internationale Käufer kann die Angebotsbestätigung Konfiguration, Zubehör, Verpackung, Exportdokumente, Inspektionsfotos oder -videos und Versandbedingungen umfassen.
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