ALD-1200X-4 Dual-Zone Tube ALD System
A 4-inch tube ALD system with independently programmed heating zones, fast dosing valves and four-channel gas control for controlled precursor exposure.
- Configuración final confirmada antes de cotizar
- Personalización y accesorios revisados según la aplicación
- Embalaje de exportación y documentación disponibles bajo solicitud
Especificaciones técnicas
Las especificaciones se organizan por sistema para que diferentes tipos de equipos presenten los parámetros relevantes para su aplicación.
Key specifications
| Continuous temperature | 1100 °C |
|---|---|
| Heating zones | 2 x 200 mm; 250 mm uniform zone at equal settings |
| ALD dosing valves | 2 valves; 10 ms minimum pulse |
| Gas flow control | 4 MFC channels; ±0.2% FS |
| Furnace power | 208–240 V AC, single phase; 4 kW |
Las especificaciones pueden cambiar según configuración y personalización. Los datos finales están sujetos a la cotización confirmada.
Descripción del producto
Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.
Para compradores internacionales, la confirmación puede incluir configuración, accesorios, embalaje, documentos de exportación, fotos o videos de inspección y términos de envío.
